真空泵维修根据多年的维修经验来给你分析一下多级泵安装的流程及需要小心的注意事项，希望对你的安装能有所帮助。安装多级泵的流程及其注意事项：
1、将多级泵运到现场，找平顶座时不必卸下水泵和电机；
2、直接安装可煤气发生炉将顶座放在地基上，在地脚螺钉附近垫上楔形铁，将顶座垫下约20~40mm，真空泵作校平先填充 水泥浆之用；
3、用水真空泵平仪检查多级泵顶座的水平度，找平先用水泥浆填充顶座，待水泥浆做先再检查一下水平度；
应用
半导体的目标应用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括：
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔
主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。
EM 系列小型油封旋转式叶片电磁真空泵
EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 28 m3/hr，具体取决于型号和级数。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足您的特定应用需求。
特性和优点
E2M0.7 的噪声级非常低，仅为 43dB(A)
该泵设计合理，可进行可靠的长期运行
紧凑的尺寸
低能耗
较低的工作温度可将设备上的热负荷降到程度
该泵为独立式装置
电机完全封闭，由电机冷却风扇进行冷却并由热过载设备保护
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
气镇阀具有水蒸汽输送能力
经过检验，符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准
特性和优点
该泵设计合理，可进行可靠的长期运行
热过载设备可防止过热（仅用于单相型号）
传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供
电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
大尺寸目视镜和宽的工作油范围
泵系列
E2M40
E2M40FX
E2M40T4
E2M80
E2M80FX
E2M80T4
E2M175
E2M175FX
E2M175T3
E2M275
E2M275T3
E2M175 与 E2M275
以上信息由专业从事RV3真空泵维修的东欧真空于2024/4/28 11:27:14发布
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